AMAT Endura chamber 문의
글쓴이 :        날짜 : 2016-11-17 21:15:12         조회 : 142

 

안녕하세요 군산대학교 플라즈마 공정연구실 강대현입니다.


저희 연구실에서 300mm wafer용 PVD AMAT Endura source를 보유하고 있는데

이 source (target  assmbly - cathode)를 기반으로 새 sputtering system을 set  up 하고자 합니다.


chamber를 비롯한 각종 진공 시스템 및 스퍼터용 시스템을 구성할 예정입니다.

회신부탁드리

 
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